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高誘電率Ｔａ２Ｏ５膜のシリコン半導体メモリ用容量絶縁膜への適用に関する研究
https://doi.org/10.15006/32665B7176
https://doi.org/10.15006/32665B71767d79e053-e66c-45ff-b71d-d456d519e3c5
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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論文の内容の要旨 (302.7 KB)
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論文審査の結果の要旨 (233.4 KB)
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論文 (8.2 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-01-20 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 高誘電率Ｔａ２Ｏ５膜のシリコン半導体メモリ用容量絶縁膜への適用に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | 半導体 | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | 誘電体 | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | 酸化タンタル | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | ＤＲＡＭ | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | ＣＶＤ | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | semiconductor | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | dielectric | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | tantalum oxide | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | dynamic random access memory | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | chemical vapor deposition | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.15006/32665B7176 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Study on Application of Ta2O5 Dielectric Films for Storage Capacitor of Semiconductor Memories | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 著者 |
神力,博
× 神力,博
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| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 32665 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 日本大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2016-11-28 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 乙第7176号 | |||||||
