WEKO3
アイテム
Study on ambient gas effect in the annealing of ion-implanted GaAs toward realizing superior JFETs
https://doi.org/10.15006/32665B7057
https://doi.org/10.15006/32665B70578aabd864-edd2-4389-b8cf-801595a85833
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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論文の内容の要旨 (354.7 KB)
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論文審査の結果の要旨 (307.6 KB)
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論文 (4.0 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-06-09 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Study on ambient gas effect in the annealing of ion-implanted GaAs toward realizing superior JFETs | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | 電気・電子材料（半導体) | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | 砒化ガリウム | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | イオン注入 | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | ジャンクションFET | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | トランスコンダクタンス | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Electrical and electronic materials(semiconductor) | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | GaAs | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Ion Implantation | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | JFET | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Transconductance | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.15006/32665B7057 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | 高性能JFET実現に向けたイオン注入GaAsのアニール時の雰囲気ガス効果に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 著者 |
奥洞,明彦
× 奥洞,明彦
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| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 32665 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 日本大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2014-03-10 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 乙第7057号 | |||||||
